超凈實驗室國內(nèi)指在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)。也就是說，無論外部空氣如何變化，室內(nèi)都能保持原先要求的清潔度、溫度、濕度和壓力。
它的主要功能是控制產(chǎn)品（如硅片）暴露在空氣中的清潔度、溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境下生產(chǎn)、制造、測試和研究。
管理制度
1.超凈室是超凈實驗室國內(nèi)樣品分離和制樣的重要場所，環(huán)境的潔凈度直接影響著數(shù)據(jù)分析的質量。因此，未征得本室人員同意，外人不得隨意進入。
2.本室儀器設備由工作人員使用、管理，未經(jīng)本室人員許可，其他人不得動用，更不能擅自拿出實驗室。
3.進入本室時，必須穿專用工作服，并服從本室人員的指導。
4.嚴禁帶食物進入本室，室內(nèi)禁止吸煙。
5.在實驗操作過程中，如有意外發(fā)生（如漏酸、潑酸等），必須立刻通知本室工作人員，以便及時處理。
6．要定期清洗并更換初效、中效和高效，以保證實驗室的潔凈度。
7.工作人員要定期對實驗室的潔凈度進行測試，一旦發(fā)現(xiàn)實驗室潔凈度達不到實驗要求的標準或實驗室本底增大等問題，要立刻查明原因并及時進行處理。
8.工作人員必須做好超凈實驗室國內(nèi)的日常維護工作。注意關好門、窗，管好水、電。
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